基本型化学機械研磨機
基本的なタイプの CP マシンは、ほとんどの場合に化学機械研磨のアプリケーションの需要を満たすことができます。この装置は、ラビリンスシングルパス研磨プレート冷却構造を採用し、研磨プロセス中の熱放散の均一性とプレート形状の維持を効果的に確保し、ハードウェアの面で研磨精度を保証します。 LSTD社製の専用設計・大型低フリクションシリンダの採用により、加工強度と加工精度を確保しています。
種類と仕様 | CP-380B(V*) | CP-460B(V) | CP-610B(V) | CP-810B(V) | CP-910B(V) | CP-1280B(V) | CP-1500B(V) |
研磨定盤径 | 381mm | 460mm | 610mm | 812mm | 914mm | 1282mm | 1500mm |
プレッシャープレートの直径 | 139mm | 150mm | 240mm | 304.8mm | 360mm/355mm | 485mm | 576mm |
プレッシャープレートの枚数 | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
研磨板回転数 | 10～160rpm | 10～160rpm | 10～115rpm | 10～87rpm | 10-80rpm | 10～64rpm | 10-54rpm |
研磨圧力(最大) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg | 320kg | 560kg | 760kg |
モーター出力 | 0.75kw | 1.5kw | 3kw | 5.5KW | 11kw | 22kw | 35kw |
電源 | 3PH、380V、50Hz | ||||||
寸法 | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
重量（約） | 350kg | 650kg | 980kg | 1800kg | 2200kg | 7000kg | 8600kg |
ウェハ積載能力 | 2"-4個/頭 2"-3個/ヘッド(V) | 2"-5個/頭 2"-4個/ヘッド(V) | 2"-10個/頭 4"-3個/ヘッド | 2"-14個/頭 4"-5個/ヘッド 5"-3個/頭 | 4"-7個/ヘッド 5"-5個/頭 6"-3個/頭 | 5"-8個/頭 6"-6個/頭 8"-3個/頭 | 6"-8個/頭 8"-5個/頭 |
※Vはバキュームチャックを表します
基本機能の研磨スラリー供給タンクはベーシックタイプのCPマシンでご使用いただけますが、一部の業務用スラリー管理システムにもご使用いただけます。 LSTDは、安定した研磨プロセスを確保するために、供給、再循環、ろ過、温度安定化、PH制御などの研磨スラリーの制御機能を実現する一連の研磨スラリー管理システムを開発しました。
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