研削液は、その作用メカニズムに応じて分類されます。機械的作用の研削液、化学的機械的作用の研削液です。
機械的研削液:ダイヤモンド、B4Cなどを研磨剤として使用し、分散剤などを加えて液体媒体に分散させ、ダイヤモンド研削液、炭化ホウ素研削液などと呼ばれる研削効果のある液体を形成します。分散液中に自由に分散し、研磨材の硬度が被研磨材の硬度よりも大きいという原理を利用して、ワークの研磨・薄肉化を実現します。 研磨剤の表面、粒子の大きさ、研磨液の形状、研磨装置の安定性などにより、研磨後の研磨面に大小の傷が残りやすいワークピース。 したがって、機械的に作用する研磨剤は一般に粗研削に使用され、その後精密研削および研磨が行われます。
化学機械研削液: 化学機械研削液は、摩耗における「ソフトな研削と硬化」の原理を利用しています。つまり、より柔らかい材料で研磨して、高品質の研磨面を実現します。 これは、機械的研磨と化学的腐食の組み合わせです。 超微粒子の研磨作用と化学的腐食作用により、粉砕媒体の表面に滑らかで平坦な表面を形成します。 そのため、化学機械研磨液は、化学機械研磨液(Chemical Mechanical Polishing、CMPと呼ばれる)とも呼ばれます。 一定の圧力と研磨スラリーの存在下で、研磨されるワークは研磨パッドに対して移動し、ナノ粒子の研削効果と酸化剤の腐食効果。




