Double Side Polishing Machine
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両面研磨機

LDSシリーズ両面研磨機はステンレス研磨板を使用しています。 GaAs、InP、その他の材料のような化合物半導体の研磨などの特別な場合には、研磨スラリーの強い腐食性のため、研磨スラリーと接触する装置のすべての部品は耐食性材料または防食性材料で作られています。処理。

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製品説明

LDSシリーズ両面ラッピング研磨機は、ワークの両面ラッピングや研磨を目的として設計・製造された両面ラッピングマシンです。両面加工により、ワークの平面度、平行度、粗さを同時に管理できます。 LDS両面ラッピング/研磨機は、剛性と安定性に優れた円形鋳造ボディを採用しています。この装置は閉ループ圧力制御システムを採用しており、処理圧力を正確に制御できます。 LDS装置のシリーズ全体は円形の本体設計を採用しており、占有面積が小さく、装置のメンテナンスと操作がより便利になります。

両面ラップ盤 LDSシリーズお客様のニーズに合わせてワーク厚み制御システムを搭載可能です。ワークの目標厚さを設定し、リアルタイムに検出できます。ワークが設定したラッピング厚さに達すると、機械は自動的に停止し、ラッピング加工が完了します。

LDSシリーズ両面研磨機ステンレス研磨板を使用。 GaAs、InP、その他の材料のような化合物半導体の研磨などの特別な場合には、研磨スラリーの強い腐食性のため、研磨スラリーと接触する装置のすべての部品は耐食性材料または防食性材料で作られています。処理。

LDS 両面ラッピング・研磨機

種類と仕様	LDS 5B-8L	LDS 5B-8L	LDS 9B-5L	LDS 9B-5L	LDS 13B-6L	LDS 13B-6P
キャリア直径	108mm	108mm	230mm	230mm	321mm	321mm
キャリア数	8	8	5	5	6	6
定盤外径	380	388	630	640	938mm	958mm
定盤ID	220	212	242	232	407mm	387mm
定盤回転数(上下)	10~100	10~100	5-60	5-60	5~60	5~60
定盤駆動モーター動力	1.5KW	1.5KW	3.7KW	3.7KW	5.5KW	7.5KW
アウターピンギヤ駆動モーターパワー	0.4KW	0.4KW	0.75KW	0.75KW	1.5KW	1.5KW
リングギヤ駆動モーターパワー	0.4KW	0.4KW	0.75KW	0.75KW	1.5KW	1.5KW
電源	3PH、380V、50Hz

種類と仕様	LDS 16B-5L	LDS 16B-5P	LDS 20B-5L	LDS 20B-5P	LDS 22B-5L	LDS 22B-5P
キャリア直径	430mm	430mm	510mm	510mm	556mm	556mm
キャリア数	5	5	5	5	5	5
定盤外径	1114mm	1144mm	1355mm	1380mm	1456mm	1480mm
定盤ID	384mm	354mm	458mm	432mm	488mm	464mm
定盤回転数(上下)	5～54rpm	5～54rpm	5～59rpm	5～59rpm	5～59rpm	5～59rpm
定盤駆動モーター動力	11KW	15KW	18KW	22KW	18KW	22KW
アウターピンギヤ駆動モーターパワー	2KW	2KW	3KW	3KW	3KW	3KW
リングギヤ駆動モーターパワー	2KW	2KW	5.5KW	5.5KW	5.5KW	5.5KW
電源	3PH、380V、50Hz

LDS 両面研磨機 _ スラリーシステムと部品

LDSシリーズ両面研磨機は、お客様のご要望に応じて研磨面の保護や研磨液から発生する有害ガスの漏洩を防ぐダストカバーを取り付けることができます。

LDSシリーズ両面研磨機は、純粋な機械研磨と化学機械研磨に使用できます。特定の研磨用途に応じて、研磨スラリーにさらされる一部の部品に適切な材質の選択や表面処理を施します。特に腐食性の研磨スラリーを使用する場合、研磨スラリーと接触するすべての部品は耐食性のない非耐食性の材料で作られています。金属材料または表面に耐食処理を施した金属材料。