CMPパッドコンディショナー

CMPパッドコンディショナー

パッドコンディショナーは、ストック研磨パッドとファイン研磨パッドの両方のコンディショニングに使用されます。これらのパッドでコンディショニングを行うことにより、パッドの平坦度を適切に制御し、パッド表面の粗さを最適化することができ、研磨されたウェーハの形状精度を向上させることができます。保証されている、
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製品説明

パッドコンディショナーは、ストック研磨パッドとファイン研磨パッドの両方のコンディショニングに使用されます。これらのパッドでコンディショニングを行うことにより、パッドの平坦度を適切に制御し、パッド表面の粗さを最適化することができ、研磨されたウェーハの形状精度を保証できます。研磨効率はコンディショニングされていないパッドよりも安定しており、多くの場合、パッドコンディショナーを使用して適切にドレッシングを行うことにより、研磨パッドの寿命を最大 30% ~ 50% 延長することができます。


パッドコンディショナーは片面研磨工程と両面研磨工程の両方に役立ちます。 目的ごとに様々なデザインが考えられ、結果も異なりますが、どのようなデザインであっても、平面度管理、平行度管理、ダイヤモンドの接合強度管理を妥協なく徹底して行っております。


Single side pad conditioner

片面パッドコンディショナー

Double side pad conditioner assembly

両面パッドコンディショナーAssy


セラミック研磨布ドレッシングプレートは研磨パッドのドレッシングにも使用されます。 研磨パッドの使用の初期段階で、このパッドドレッサーを使用して研磨パッドをドレッシングし、良好な接着性バッキングを実現し、研磨パッドの平坦度を制御できます。


Single side pad conditioner assembly

片面パッドコンディショナーアセンブリ

Double side pad conditioning carrier

両面パッドコンディショニングキャリア

Ceramic plate pad dresser

セラミックプレートパッドドレッサー


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