研磨テンプレート

テンプレートはワックスの代わりに水膜張力によってウェーハを保持するためのもので、ワックスでウェーハを保持する方法と比較して、テンプレートを使用してウェーハを保持する方が効率が高く、生産コストが低くなります。 テンプレートのポケットは、特定の部品を保持するためにさまざまな形状と深さに作ることができます。

研磨されたウェーハの形状精度を制御するために、テンプレートは PSA バックテープを使用してセラミックプレートに貼り付けられることがよくあります。 ウエハーの材質やスラリーの特性に応じて、さまざまな種類のバッキングフィルムをお選びいただけます。 Siウェハ、サファイアウェハの研磨にはオープンセルバッキングフィルムの使用を推奨しますが、研磨スラリーの腐食性が高いGaAs、InP、CZTなどの研磨にはクローズセルバッキングフィルムの使用を推奨します。

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